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UV LED在線式晶圓自動掃碼解膠機
UVLED解膠機是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動解膠設備。許多晶圓半導體行業(yè)在生產(chǎn)過程中，需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來，然后進行劃片加工處理，最后通過UVLED光源對固定好的晶圓切片進行照射，使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化，從而降低與切割膜膠帶之間的粘性，從而達到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來。
UVLED解膠機解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序。
uvled自動掃碼解膠機的特點
1、 設備小巧，適合6/8/10/12寸晶圓芯片整片照射使用；
2、智能控制面板，可自由設定照射時間和功率大?。?/span>
3、照射模式，自下往上照射，方便晶圓切片放置和取出；
4、 使用壽命是普通UV汞燈的10倍以上，平均使用壽命約為20000h；
5、無需維護成本，無需頻繁更換光源照射頭；
6、采用封閉式模塊設計，在線/手動模式，可自動錄入實時解膠數(shù)據(jù)；
7、LED冷光源照射模式，具有溫度低、曝光均勻、結(jié)構(gòu)緊湊、低能耗、是半導體行業(yè)的理想機型，且低溫對熱敏材料無損害，是一種安全環(huán)保型產(chǎn)品。
UV解膠機在晶圓封裝行業(yè)廣泛使用，像陶瓷切割、玻璃加工等工藝都能用到紫外解膠工序，也有一些光學鏡頭、LED集成芯片、線路板等半導體材料UV脫膠也都可以使用到。
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